概述

内部采用干式泵，对环境要求高，需在洁净室中运行。

压缩式设计，无油雾污染。

利用氦质谱和逆扩散原理，采用180°非均匀磁场和自动控制技术。

具有启动时间短、运行速度快、灵敏度高、性能可靠、无污染物去除等特点。

大泄漏检测功能：可通过预设压力、空转时间，若未达到预设值，泄漏检测器会自动报警提示。

多种计量单位选择，实时更新检测数据，直接输出生成 Excel 表格。

可旋转的7英寸彩色触摸屏，操作者可以根据舒适度以任何方式调整方向。

大泄漏保护模式，在分子泵不受影响的情况下，完全保护离子源免受氧化和暴露于大气中。

其他特点

• 大泄漏检测功能：通过预设压力，当抽空过程中未达到预设值时，泄漏检测器将自动报警并发出提示。
• 有多种计量单位可供选择。检测数据实时更新，并可直接输出生成 Excel 表格。
• 多重大型泄漏保护模式可完全保护离子源免受氧化，并保护分子泵免受暴露于大气中的影响。
• 手持式遥控装置可在无障碍物的情况下，在最远 150 米的距离内远程控制检测。